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中科仪等公布“一种高温干式真空泵机组”:真空泵
天眼查APP显示，近日，中科仪（南通）半导体设备有限责任公司,科学院沈阳科学仪器股份有限公司申请的“一种高温干式真空泵机组”公布真空泵。摘要显示，本发明涉及干式真空泵技术领域，且公开了一种高温干式
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天眼查APP显示，近日，中科仪（南通）半导体设备有限责任公司,科学院沈阳科学仪器股份有限公司申请的“一种高温干式真空泵机组”公布真空泵。摘要显示，本发明涉及干式真空泵技术领域，且公开了一种高温干式