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中科仪（广州）申请真空泵密封机构，降低泵体使用功耗:真空泵
金融界2025年7月29日消息，国家知识信息显示，中科仪（广州）半导体设备有限责任公司申请一项名为“一种真空泵的密封机构”的，公开号CN120384874A，申请日期为2025年06月真空泵。摘要
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金融界2025年7月29日消息，国家知识信息显示，中科仪（广州）半导体设备有限责任公司申请一项名为“一种真空泵的密封机构”的，公开号CN120384874A，申请日期为2025年06月真空泵。摘要