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上海通嘉宏盛申请真空泵排气监测系统，延缓真空泵宕机停工时间:真空泵
金融界2025年4月25日消息，国家知识信息显示，上海通嘉宏盛半导体设备有限公司申请一项名为“一种真空泵排气监测系统”的，公开号CN119801881A，申请日期为2025年2月真空泵。摘要显示，
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金融界2025年4月25日消息，国家知识信息显示，上海通嘉宏盛半导体设备有限公司申请一项名为“一种真空泵排气监测系统”的，公开号CN119801881A，申请日期为2025年2月真空泵。摘要显示，