滑阀式真空泵
工作原理：
滑阀式油封机械泵（简称滑阀泵）同旋片泵一样，也是一种变容式气体传输泵真空泵 。其和范围和使用条件与旋片泵基本相同。
这种泵亦分单级泵和双级泵两种，有立式和卧式两种结构形式真空泵 。
这种泵主要由泵体及在缸内作偏心转动的滑阀所组成真空泵 。在泵缸中，装有滑阀环(4)，其内装有偏心轮(3)。偏心轮固定在轴(2)上，轴与泵缸中心线相重合。在滑阀环上装有长方形的滑阀杆(5)，它能在半圆形滑阀导轨(7)中上下滑动及左右摆动，因此泵缸被滑阀环和滑阀杆分隔为A,B两室，泵在运转过程中，由于A, B两室容积周期性地改变(极小与极大之间)，从而达到抽气的目的。双级型的滑阀泵，实际上是由两个单级泵串联起来的，它的高、低真空室在同一泵体内，有的是直接铸造成一个整体，有的是压入中隔板来把泵腔分为高、低两室。但二者的前后两室均不直接有孔相通，而是高真空室把容器中的气体吸入经膨胀压缩后排到泵腔上部空腔，再由低真空室吸入经膨胀压缩过程排出泵外。
滑阀泵由于其结构特点，容量比旋片泵大得多，因此常常被用在大型真空设备上真空泵 。滑阀泵有单级和双级两种型式。单级泵的极限压力对小泵≤0.6Pa，对大泵≤1.3Pa（均关气镇），双级泵的极限压力≤0.06Pa（关气镇）。抽速大于150L/s的滑阀泵多采用单级型式。
由于滑阀泵的旋转质量有较大的偏心，如果滑很好的质量平衡，在运转时会产生较大的振动真空泵 。但泵旋转质心的运动轨迹是形状复杂的封闭曲线，因此很难实现对滑阀泵惯性力的完全平衡。做好滑阀的质量平衡，减少泵的振动一直是滑阀泵需要解决的一个重要课题。
滑阀式真空泵的结构特点
滑阀式真空泵是工业领域常用的一种油封式真空泵真空泵 。区别于其他油封式真空泵，它最大的特点是通过滑阀式转子在泵浦内做机械运动，改变腔体容积来达到特定的抽气母的。因此滑阀式真空泵也是一种容积式泵浦。与其他油封式真空泵一样也可以抽取一般性气体或含有少量可凝性气体，在不同领域的真空应用也较为广泛。
与一般旋片式真空泵一样，滑阀式真空泵也有单级与双极之分，当然根据它的结构特征还有立式和卧式两种不同的结构形式真空泵 。单级滑阀式真空泵极限真空值一般可以抽到0.4^-1.3Pa，双级滑阀式真空泵的极限压力可以抽到6 X 10-2 ---10-'Pa的范围内。在实际工业应用中，超过一般抽速超出150L/S的工艺要求的，通常采用单级式滑阀真空泵。
由于结构上的特点，使得这种泵具有能够长期在较高压强和较差的抽气条件下工作、使用寿命长等优点，在各个领域(例如真空冶炼、真空干燥、真空镀膜、真空浸溃等其他真空作业领域)都得到了广泛的应用真空泵 。由于滑阀泵耐用、可靠，能在恶劣的抽气环境下工作，因此它可以单.独使用，也可作为其他真空泵的前级泵。
滑阀泵有单级H型、双级2H型：滑阀式真空泵适用于抽吸空气及其他一般性气体，当使用气镇时，亦能抽吸含有掌上少量的可凝性气体（如水蒸汽）真空泵 。当抽吸含氧过高的、有爆炸性的、对黑金属有腐蚀性的、对真空油起化学反应的气体时，应该附加装置。本型泵可单独使用，也可作为扩散泵、油增压泵、罗茨泵等高真空泵的前级泵，相对于旋片式真空泵，H型滑阀泵比较耐用，使用寿命长。该泵在真空镀膜、真空热处理、真空烧结、分子蒸馏、航空模拟试验使用较多。
滑阀真空泵有以下特点：
1）经过优化设计配重，振动少，噪声低真空泵 。
2）轴承密封室单独供油，与泵腔隔开，避免了杂质进入轴承、密封过早损坏真空泵 。
3）根据用户要求，可附带副油箱，达到冷却真空油分离杂质的作用真空泵 。
4）除老式H-150外真空泵 ，电机均置于泵的上方，结构紧凑，占地面积少
滑阀真空泵的应用范围
广泛应用在航天、航空、原子、石油、化工、制药、电工、陶瓷、冶炼、新材料、真空热处理、真空镀膜等行业真空泵 。滑阀真空机组具有显著的节能效果，真空度高，高真空区间抽气量大，可广泛应用于电力工业的变压器、电线电缆、电容器的真空浸渍、真空干燥工艺中。是真空镀膜、真空冶炼、真空热处理、真空滤油、冷冻干燥；航空模拟试验较理想的真空设备。如抽吸含有少量水蒸汽或少量粉尘的气体，应加装过滤装置。
滑阀真空泵的应用要点：
滑阀泵虽然是一种老泵，但与旋片泵等比较，它具有允许工作压力高"(104Pa)、抽气量大、能在较恶劣环境下连续工作，经久耐用等突出优点，所以在真空冶炼、真空干燥、真空浸渍、真空蒸馏等行业得到广泛的应用随着真空应用范围越来越广泛，在真空干燥、真空浸渍、真空脱水、真空冶炼等行业用滑阀泵抽除气体都含有大量水蒸汽真空泵 。如果在真空泵中不能及时排除，就会污染真空泵油，造成真空泵抽气性能降低。尽管在泵上设置了气镇阀，认可降低泵的极限真空，用气镇方法抽除可凝性气体，但对于真空干燥、脱水、炼泥等水蒸汽含量高的抽气过程来说，用气镇方法并不理想，一般有以下方法可试用:
a滑阀泵与冷凝器配套使用真空泵 。目前国内多数厂家采用这一方案。原理是将冷凝器串接在泵与被抽容器之间，把真空工艺设备中的大量水蒸汽用冷凝器捕捉成水，从而减少水蒸汽进入真空泵中的数量、降低泵油污染程度。如果适当调节冷凝器出口阀门流量和充分发挥真空泵上的气镇阀作用，可以取得较好的抽气效果。
b变滑阀泵为热泵真空泵 。根据水的物理特性及相图原理，可将滑阀式真空泵改成热泵。这样．可在较高泵腔温度条件下，抽除大量可凝性水蒸汽。其工作原理如下：用一套自动温度调节控制器，通过自动控制泵的冷却水流量来达到控制泵腔温度的目的。使得在抽气过程中，泵腔的温度始终控制在高于水的饱和蒸汽压温度，促使被抽气体中的大量水蒸汽能顺利排出。
为避免出现由于泵腔内温度较高，泵长期工作可能会出现的泵油变稀、真空度下降、运转零部件卡死等现象，在设计中可采用耐高温的泵油如(N-62或N-68)和耐高温轴承．加大运转零部件的间隙等真空泵 。