上海通嘉宏盛申请真空泵排气监测系统,延缓真空泵宕机停工时间:真空泵

金融界2025年4月25日消息,国家知识信息显示,上海通嘉宏盛半导体设备有限公司申请一项名为“一种真空泵排气监测系统”的,公开号CN119801881A,申请日期为2025年2月真空泵

摘要显示,本公开提出一种真空泵排气监测系统,属于真空泵排气系统技术领域真空泵 。真空泵排气监测系统包括:环形通道,设置于真空泵尾部排气管之间的连接接头,且环形通道具有进气口和排气口;第一密封件和第二密封件,分别设置于环形通道的两侧,且分别用于对排气管内腔和环形通道,以及环形通道和大气侧进行密封;进气管路和排气管路,分别与环形通道的进气口和排气口连接,且在进气管路和/或排气管路设置有气体检测结构;惰性气体由进气管路进入至环形通道,再经排气管路排出,形成监测回路,通过气体检测结构的检测结果判断连接接头处是否发生气体泄漏,便于检测维修,延缓气体或可燃气体的泄漏,同时可延缓真空泵宕机停工的时间。

天眼查资料显示,上海通嘉宏盛半导体设备有限公司,成立于2022年,位于上海市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业真空泵 。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析,上海通嘉宏盛半导体设备有限公司信息6条,此外企业还拥有行政许可3个。

来源:金融界

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